系统级测试(SLT)赋能下一代高性能芯片量产落地
随着半导体晶体管尺寸持续微缩、芯片复杂度指数级增长,半导体测试已成为保障产品质量的关键环节。同时可接受质量水平(AQL)认证标准日趋严格,测试方法也必须持续升级以满足要求。系统级测试(SLT)与采用自动测试设备(ATE)的传统测试相结合,可构建全面的测试策略,确保芯片性能超越质量要求。
系统级测试(SLT)能够识别并解决多项测试问题,但并非新技术。自上世纪90年代末,计算领域就开始应用该技术。然而,随着芯片集成的晶体管数量呈指数级增长、芯片复杂度不断提升,越来越多的集成芯片(IC)制造商开始采用SLT提升芯片良率和质量。
什么是系统级测试?它有何特别之处?
系统级测试也称为功能测试,是在最终应用场景下对待测芯片(DUT)进行测试的方法。通过运行操作系统,并利用待测芯片执行通用或有针对性应用测试,可实现传统ATE测试之外的额外验证。SLT测试通常是在芯片正常运行基础上增加验证步骤。
推动系统级测试发展的行业趋势
过去二十年间,受芯片行业多重趋势影响,SLT市场实现显著增长。
首先,芯片质量要求持续提高。过去十年间,人们对手机及其他电子设备的依赖程度不断加深,对芯片质量的要求也日益严苛。这推动制造商对芯片和系统开展全面测试,降低终端用户使用时出现故障的概率。移动设备领域的SLT需求也因此快速增长。
另一个趋势出现在汽车领域。在辅助自动驾驶汽车中,电子设备和软件负责感知周围环境,并通过自动转向或制动功能做出响应。高级驾驶辅助系统(ADAS)对标准提出更高要求,因此超高功率与混合信号芯片的性能、平台效率及热稳定性均至关重要。
芯片供应商持续突破技术极限,以提升性能、电池续航时间和良率,这意味着必须:
- 尽早推出基于新工艺节点的产品,即便工艺缺陷率可能偏高
- 尽可能降低工作电压以延长电池续航时间
- 微调锁相环(PLL)设置以最大限度地提升良率
- 采用先进封装技术,提高晶体管密度和性能
此外,在汽车信息娱乐领域,车企比以往任何时候都更贴近技术前沿。通过采用前沿技术实现更高稳定性,可有效缩短汽车信息娱乐产品的上市周期。
SLT的另一个增长领域是大数据处理、边缘及云端人工智能(AI)应用。这类应用对功率需求极高,功耗范围从数百瓦到数千瓦。
多元化市场带来多样化需求,确保成品中的元器件具备高质量,已成为关键且复杂的课题。随着技术不断逼近极限,SLT在避免缺陷遗漏、确保元器件达到质量要求方面的作用愈发重要。除提升产品质量外,让测试环境尽可能贴近终端应用场景,也有助于加快产品上市速度。
传统测试覆盖率面临更大挑战
IC制造商不断将更多功能集成到单个芯片中。以移动处理器为例,早期功能主要局限于通话,如今移动设备已支持图形处理、图像处理、高级安全等功能。过去,通信依靠数字处理实现,如今设备还集成语音、生物特征数据处理乃至AI算法,应用处理器(AP)也因此需要与高速存储器集成。
处理器持续演进,功能快速拓展。从健康指标监测、数据记录与存储、连接与控制、与车载传感器通信保障安全,到通过机器学习和AI简化生活,这些功能持续提升生产效率与安全性。与这些功能块交互相关的故障非常难以捕捉,尤其当此类功能块的测试接口采用不同语言时。
所有这些新功能均集成到一个应用处理器中,使得晶体管数量大幅增加,部分场景下增速甚至超越摩尔定律。

当然,测试挑战并不仅限于芯片功能层面。在将许多晶体管集成到IC时,有时必须做出权衡,进而导致传统测试方法的覆盖率下降。随着晶体管数量快速增加,故障率随之上升,需要通过更多测试避免故障率升高。ATE测试已不足以覆盖全部故障,可以借助SLT实现更全面的测试覆盖率。
如何运行SLT?
SLT是以高度贴近最终应用的方式对产品进行的功能测试。“系统”部分在定制的系统级测试板上实现,测试流程包括:
- 执行特定操作:运行待测芯片的通用功能和系统固有的目标应用,验证其是否按预期工作。此类操作可能包括启动芯片、加载操作系统,或运行模组所编写的特定程序,例如性能评估程序。所用系统级测试板与提供给客户的参考设计板或评估板相似。
- 判断操作是否成功:根据测试结果或操作成功与否进行衡量。例如,验证内部进程是否成功执行时,需要验证操作系统是否能够成功启动,或者测量特定数值(例如性能测试结果与阈值对比)作为判断依据。
大多数情况下,SLT中的系统配备板载处理器来执行测试流程。由于SLT主要面向片上系统(SoC)和系统级封装(SiP)芯片,因此测试处理器通常为待测芯片的一部分。如果不满足该条件,则需要在待测芯片的外围测试系统中配置合适处理器。
待测芯片周围的SLT板电路可根据需求调整。故障逃逸报告可快速直观地显示在屏幕上。这类测试难以在ATE上实现,因为必须开展大量故障分析,才能将功能故障追溯至晶体管级。SLT更适用于此类测试,能精准复现触发故障的应用场景,并快速将对应功能测试加入SLT测试中,几乎可立即找出故障逃逸的根本原因。
不过,由于SLT是模拟真实终端使用场景的功能测试,而非ATE所采用的结构测试,SLT测试时长通常长于传统ATE测试。因此,并行测试效率对保障SLT成本效益非常重要。ATE测试时长通常以10秒为单位,而SLT测试时长则以1到10分钟为单位。为实现最优效率,并行测试能力必须比ATE高出一个数量级。
成本至关重要
归根结底,成本至关重要。全面的测试策略可确保尽早捕获故障,避免后续流程产生额外成本。ATE晶圆测试在流程早期故障捕获方面表现优异,可有效发现晶体管级问题、对频率/电压变化的敏感性,以及是否符合基本设计规范等。
封装过程中可能产生部分缺陷,需要通过ATE成品测试进行识别。然而,仍有部分故障极为细微复杂,如果要求达到极低的百万分之缺陷率(DPPM),待测芯片将难以通过测试验收流程。

在常规质量要求下,ATE成本通常随测试时长增加而上升。这种增长整体可控,并在一定范围内呈线性关系。然而,当测试需要覆盖高复杂度的晶体管级故障时,ATE成本最终会达到曲线拐点,并呈指数级增长。
这主要是因为识别此类故障需要大量时间,而且需要借助外围设备完成测试。目前,部分此类测试可在ATE上完成,包括部分参数测试和功能测试。但在某些情况下,由于额外电路数量与测试时长,这类测试在ATE上不再具备可行性。值得注意的是,SLT成本/测试时间不会随复杂度增加而增加,因其仅需启动或运行应用即可。过去50年里,ATE在捕获晶体管级设计参数故障方面表现出色,并将继续成为该环节最具成本效益的方法。对于无法在ATE上实施的测试,应采用基于芯片真实应用场景的SLT完成。
为什么多类故障可在ATE中捕获,却无法在SLT中检出?原因在于,与ATE不同,SLT不会系统地测试每个晶体管及其参数,而只会测试待测芯片中的一个实际应用子集,并提供功能结果。通过运行所有可预见的应用程序来激发每个晶体管并触发故障,几乎是不可能完成的任务。
SLT的成本效益体现在:可检出ATE无法测试的相当一部分故障,或可同时对芯片及其周围的多个IP模组进行测试。得益于更高的并发测试能力(单次可测芯片数量),单个芯片的测试成本可降至ATE的四分之一甚至更低。
随着芯片复杂度呈指数级增长,且任务关键型应用不断增多,ATE与SLT测试相结合,非常适合以最低成本维持高质量水平。
在一定程度上,ATE成本与复杂度/晶体管数量呈线性关系,因此适用于捕获晶圆级和IC级故障。SLT则能在测试流程的最后阶段,以优异的成本效益检出最后一批难以发现的故障。因此,对于质量要求极高的任务关键型应用,在现有ATE测试流程的末尾增加SLT,往往是最经济高效的策略。

为何选择泰瑞达?
唯有同时采用ATE和SLT测试,才能构建全面的测试策略。综合质量要求和成本等诸多因素,企业可在ATE和SLT之间确定最优平衡。

Teradyne Titan™ SLT测试机的一大优势是真正的并行测试。每个芯片完全独立于相邻芯片,可更高效地执行SLT和批量处理。
此外,泰瑞达拥有已稳定应用十余年的大规模自动化生产平台。通过将存储自动化架构与半导体测试专业能力深度融合,Teradyne Titan提供全面的SLT自动化和测试解决方案。
SLT是ATE测试的补充和延伸,旨在确保达到所需的质量水平。泰瑞达提供覆盖全测试生命周期的解决方案,助力客户实现最大化测试覆盖率,向市场交付最高品质的产品,同时缩短测试时间、降低测试成本。
结语
SLT已存在近30年,主要面向前沿的大规模数字计算应用。有些故障仅在真实应用场景中才会显现,而SLT正是为此而生。它在系统级测试板上对芯片开展应用级测试,借助专用外设捕获最后0.00xx%的故障,实现尽可能低的缺陷逃逸率。
SLT的增长源于质量要求持续提高、电子应用场景快速扩张、芯片复杂度不断提高,以及上市时间窗口持续缩短。泰瑞达通过整合ATE和SLT测试,为大批量制造提供全面测试解决方案,力求最大限度地捕获故障,不仅可覆盖手机应用处理器,还适用于汽车及高性能计算等终端市场的处理器。
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